台积电将在2024年取得高NA EUV光刻机助力2nm工艺
随着大量4nm工艺芯片产品面市,3nm也正式进入到即将量产的阶段,并且已经有不少厂商开始部署有关于2nm工艺的相关工作,芯片即将进入突破极限工艺的发展阶段。
今日,据相关人士透露,台积电将在2024年取得ASML下世代极紫外光微影设备(high-NA EUV),为客户发展相关的基础设施与架构解决方案。
据悉,High-NA EUV光刻设备的单价估计约为28亿元人民币,是现有EUV光刻设备的两三倍。
除台积电外,三星和英特尔也在积极的寻求2nm工艺实现方法,九游 - 9游 体育官网并且已经有所行动。
据相关媒体之前的报道可知,三星电子此前与ASML公司就引进该荷兰半导体设备制造商的下一代极紫外(EUV)光刻设备进行了会谈,并就引进今年生产的EUV光刻设备和计划于明年推出的高数值孔径EUV光刻设备达成了协议。
今年早些时候,英特尔也宣布已签署合同购买5台这种设备,用于在2025年生产1.8纳米芯片。
据前几日报道,台积电已经公布相关制程工艺的时间计划,2nm制程将于2025年量产,并且就现在的进度来看,有望领先其竞争对手三星和英特尔。
除2nm制程工艺外,3nm将在今年下半年量产,升级版3nm(N3E)制程将于3nm量产一年后量产,即2023年量产,2nm预计于2025年量产。
据悉,台积电2nm将首次采用纳米片架构,相较N3E制程,在相同功耗下频率可提升10%至15%;在相同频率下,功耗降低25%至30%。
此前消息称,虽然在3nm世代略有保守,但无论如何,鳍片 (Fin) 宽度都已经接近实际极限,再向下就会遇到瓶颈,所以相关人士预估台积电2nm先进制程将采用环绕式闸极场效电晶体GAAFET高端架构生产2nm芯片。
作为芯片制造领域目前的极限,2nm工艺可以带来更强的性能和更好的能耗比表现,感兴趣的消费者可以对相关技术工艺报道保持关注。


